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       【作者】：傅惠南 ，王宏霞，王曉紅，區仲榮

       【單位】：廣東工業大學機電學院，廣東 廣州 510090

       【摘要】：

        探針是掃描探針顯微鏡的核心部分，結構及針尖的表面狀態會影響此類儀器的操作性、可控制性、工作穩定性、可靠性以及其它性能的發揮。探針及其相關技術的研究進展成為人們十分關注的問題。探針對表面物理信息的檢測是一個針尖與試樣表面相互作用的過程，包含物理、幾何關系，還包含表面微觀化學作用及其它微觀因素的影響。本文探討探針與表面相互作用關系，并就近些年探針技術發展討論探針性能?p針尖及相應結構的改進，探針功能的拓展以及功能的組合，討論相關制備技術方法、特點和相應檢測條件、適用環境等。